<기획> 반도체가스 스크러버의 최신기술 동향 - 아이가스저널

촉매산화연소식, 저.고온 플라즈마식 등 기술개발 열기 후끈반도체산업에서 사용되는 가스 스크러버(scrubber)란 반도체 제조공정중에 발생하는 ...